除電の目的

除電の目的は、静電気の除去はもちろんですが、製造工程としては静電気による不良の低減です。
そのためにはプリント配線板やFPD用ガラス基板の面だけでは無く、空中に浮遊しているゴミ/ホコリを除電しないと、不良の低減は果たせません。
付着しているゴミ/ホコリは後から除電してもなかなか離れてくれません。
付着する前に除電することで、不良の低減が図れます。

空間除電とは？

なぜホコリがワークに付着するのか？
ホコリ付着のメカニズムを分析した結果、浮遊する帯電したホコリ(活性ホコリ)がワークに付着することが判明。 つまり浮遊するホコリごと空間を除電すればワークへのホコリ付着を防止できることがわかりました。

ホコリ払い工程に最適

ワークへ付着したホコリをエアガンで吹いても、帯電したホコリは舞い上がって、今度は裏面に回り込み再度ワークへ付着してしまいます。
従来不可能とされていた、この「回り込み現象」のホコリを不活性化することで解決します。

来のバー型ではほこりがワークの上に積もる！？

従来のバー型除電器はワークの真上に除電器を置くレイアウト。
除電器はイオン放射部を吸い寄せる性質の高圧部がありこの部分にはホコリが滞留してしまいます。 ワークの真上に除電器を配置してしまうと、ここにたまったホコリがワーク上に落下して不良を引き起こすことがあります。
この現象に対し、空間除電器®はワークの真上から除電器を逃がしたレイアウトで対処。 使用環境がクリーンルーム/クリーンベンチなら無風除電®で層流を乱すこともワーク上にホコリをまき散らすことも無い最高の環境を創ります。

イオン特性を利用して空間内をくまなく除電

リンクポートで自由なレイアウトを実現
空間除電器®ではイオン極性の同期をとることにより効果的に除電空間を拡張することができます。
TAS-801/802 シリーズ・TAS-301/302 シリーズでは除電器の同期を簡単にとれる「LINK PORT」を装備。
それぞれの除電器が放射するとプラスとマイナスのイオンを同期させ、強力で広範囲をくまなく除電することを可能にしました。
クーロン力を利用する改良型直流方式ならではのイオン放散能力で異形空間への対応も万全です。